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德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光栅尺
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德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光栅尺
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德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光栅尺:LIC、LIP、LIF、LIDA、PP
  德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光栅尺的詳細資料:

德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光栅尺

敞開式直線光栅尺設計用於需要高精度測量的機床和系統
典型應用包括:

  • 半導體工業的測量和生産設備
  • PCB電路闆組裝機
  • 超精密機床
  • 高精度機床
  • 測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它的精密性張力控制測量設備
  • 直接驅動

 

位置測量

系列

描述


每個信号周期内的位置誤差

測量長度

未定義LIC

LIC暴露的線性編碼器允許的位置測量大路徑遍曆到27米的的和在高速運動。在他們的尺寸和安裝,他們相匹配的LIDA 400。

±0.08微米

27040毫米

 

增量式直線光栅測量

系列

描述


每個信号周期内的位置誤差

測量長度

未定義LIP

LIP敞開式直線光栅的特點是非常小的測量具有很高的準確性和可重複性。他們根據幹涉掃描原理和特點一DIADUR相位光栅作爲測量标準。

高達±0.001微米的

到3040毫米

未定義LIF

暴露的線性編碼器的LIF在玻璃基闆上制造在SUPRADUR過程中,有一個測量标準,幹涉掃描原理。它們的特點是精度高,重複性好,特别是易於安裝,限位開關和歸巢的軌道。特别版LIF 481 V可用於在高真空到10-7酒吧(請參閱單獨的産品信息表)。

±0.04微米

到1020毫米

未定義LIDA

LIDA系列直線編碼器是專門設計的高移動速度可達10米/秒,是特别容易安裝的各種安裝方式。鋼規模磁帶,玻璃或玻璃陶瓷METALLUR刻度作爲載體使用,這取決於各自的編碼器上。他們還配備瞭限位開關。

高達±0.2微米

30040毫米

未定義PP

在的PP兩坐标編碼器,與DIADUR過程制造的平面的相位光栅結構作爲測量的标準,該标準被掃描interferentially。這使得可以測量平面内的位置。

±0.04微米

測量範圍68x68mm

 

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